Разработка и изготовление оборудования
для производства изделий радиоэлектронных компонентов

LPCVD


Установки химического осаждения из газовой фазы при низком давлении

(LPCVD такие как "Изотрон" и.д.р.)

Описание

Установки химического осаждения из газовой фазы предназначены для получения тонких пленок при пониженном давлении в реакционной камере. Установки включают в себя систему управления на основе ПК, программируемые процессы, автоматическую загрузку и комплексную систему блокировок, как самой установки, так и программного обеспечения. Конфигурации системы разнятся, и производится в соответствии с конкретными задачами пользователя. Они включают в себя различные виды нагрева, выбор размера подложек, полупродукта химических реакций, рабочего давления, типов загрузочных камер и др. Применяется в маршрутах изготовления всех типов интегральных микросхем. Установки могут быть усовершенствованы на месте, в соответствии с постоянно растущими новыми требованиями и задачами.


Основные характеристики

• Автоматический и полуавтоматические режимы работы;

• Диапазон рабочих температур: 400 - 900 0С;

• Диаметр обрабатываемых подложек: 76 – 150 мм;

• Количество реакторов : 1 – 4;

• Точность поддержания температуры во время рабочего процесса: ±0,5 - 1,5° С;

• Длина рабочей зоны реактора: 600 - 900 мм;

• Время разогрева печи до максимальной рабочей температуры: не более 2 часов;

• Величина остаточного давления в реакторе: не более 1,3 Па;

• Величина рабочего давления: 5 – 1500 Па;

• Скорость откачки: не менее 50 л/сек;

• Габариты системы (могут варьироваться в зависимости от конкретной комплектации):

o длина 6180 мм;
o ширина 800 - 900 мм;
o высота 2360 мм.


Процессы

√ Отжиг;

√ Восстановление;

√ Гидролиз;

√ Образование карбида и нитрида;

√ Si, SiO2, Ge, GaN итд;


Основные направления деятельности

Модернизация оборудования для проведения процессов диффузии, окисления, осаждения (Оксид, СДОМ, ТМХ, Изотрон, Термоком, Изоплаз и д.р)


У нас работает команда профессионалов

На протяжении 25 лет мы разрабатываем и модернизируем оборудование для микроэлектроники


Поддержка клиентов после сдачи проекта

Гарантийное и постгарантийное обслуживание выпускаемого и модернизируемого оборудования.