Двухосный динамический стенд с камерой тепла и холода MS-2T100-01 (Китай)
1. В состав стенда входят – двуосный поворотный стол, камера темпа и холода, выносной механический холодильник и стойка управления
№ | Наименование параметра | Значение параметра | |
1 | Максимальная нагрузка | 100 кг | |
2 | Диаметр поворотного стола | 550 мм | |
3 | Количество осей | 2 | |
4 | Высота от стола до верхней поверхности камеры | 460 мм | |
5 | Точки крепления | По требованию заказчика | |
6 | Направление осей | Одна вертикальная и одна горизонтальная | |
Внутренняя ось | Внешняя ось | ||
7 | Допустимый угол поворота | ±360o | ±360o |
8 | Точность фиксации угла поворота | ≤1угл.с RSS | ≤2угл. с RSS |
9 | Стабильность угловой скорости при повороте на угол 360° | 0.005% | 0.005% |
10 | Дискрет задания угловой скорости | 0,001 o/c | 0,001 o/c |
11 | Минимальное угловое ускорение | 0,001 o/c2 | 0,001 o/c2 |
12 | Максимальное угловое ускорение | 600 o/c2 | 220 o/c2 |
13 | Максимальная угловая скорость | ±1000 o/c | ±500 o/c |
14 | Управление |
| |
15 | Динамический диапазон (без нагрузки) | 50 Гц по уровню -3dB | 25 Гц по уровню -3dB |
16 | Питание 50 Гц | Трехфазное 380 В | |
17 | Токоведущие кольца 80 линий | 1.Кольцо: 16 линий, 2А2.Кольцо 44 линии, 3А | |
Камера тепла и холода | |||
18 | Температурный диапазон | -60 — +100 | °C |
19 | Скорость нагрева | 4 | °C/min |
20 | Скорость охлаждения | 2 | °C/min |
21 | Точность поддержания температуры | ±1 | °C |
22 | Размеры внутри камеры (LхWхH) | 560мм х 560мм х 630 мм | |
23 | Охлаждение | Фреон с воздушным охлаждением | |
24 | Размеры стенда | 2292мм x 1050мм x 2075мм |
Внешний вид динамического стенда
Модернизация оборудования для проведения процессов диффузии, окисления, осаждения (Оксид, СДОМ, ТМХ, Изотрон, Термоком, Изоплаз и д.р)
На протяжении 25 лет мы разрабатываем и модернизируем оборудование для микроэлектроники
Гарантийное и постгарантийное обслуживание выпускаемого и модернизируемого оборудования.