Характеристики ЛГ-028
Размеры,не более 160*160*63 мм
Масса,не более 2,5 кг
Потребляемая мощность7 Вт
Питание +-15В, +-5 В или 27 В
Интерфейс- RS-422 или импульсы
Частота опроса- 1 кГц
Стабильность нуля в запуске (3σ)-0,01о/ч
Невоспроизводимость нуля от запуска к запуску (3σ)-0,01о/ч
Нелинейность и нестабильность масштабного коэффициента (3σ) - 1*10-5 отн. ед.
Срок службы- 16 лет
Ресурс- 20000 ч
Диапазон рабочих температур- -50 - +70 оС
Удары прочность- 15 g
Вибрация ШСВ 20-2000 Гц, прочность- 6 g
Модернизация оборудования для проведения процессов диффузии, окисления, осаждения (Оксид, СДОМ, ТМХ, Изотрон, Термоком, Изоплаз и д.р)
На протяжении 25 лет мы разрабатываем и модернизируем оборудование для микроэлектроники
Гарантийное и постгарантийное обслуживание выпускаемого и модернизируемого оборудования.